3ReF6 + 3SiO2 2ReO3F + ReF4 + 3SiF4
La reacción de la interacción de fluoruro de renio(VI) y óxido de silicio(IV) con la formación de trióxido de-fluoruro de renio(VII), fluoruro de renio(IV) y fluoruro de silicio(IV). La reacción es cuando se calienta a una temperatura de no más de 300°C.