XeF6 + 3H2O → XeO3 + 6HF
La reacción de la interacción de fluoruro de xenón(VI) y el agua con la formación de óxido de xenón(VI) y ftorovodoroda. Más eficaz para el control de la reacción se obtiene cuando se utiliza el flujo del nitrógeno seco, uvlekayucshego el hexafluoruro de xenón en el agua.