SiH4 + 2O2 
SiO2 + 2H2O
La reacción de la interacción monosilana y oxígeno con la formación de óxido de silicio y agua. Reacción a una temperatura de aproximadamente 150°C. la Combustión monosilana en el aire.
Тermohimicheskoe la ecuación:
Cambio de energía de gibbs:
- SiH4 + 2O2 = SiO2 + 2H2O ΔG0298 = -1368,6 kj/mol.
- SiH4(g.) + 2O2(,) = SiO2(k) + 2H2O(g.), ΔH0298 = -1357 kj.
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